에이루트 子 앤에스알시, 중국 대형 반도체 팹 노광장비 시운전 돌입

에이루트의 반도체 장비 자회사 앤에스알시(NSRC)는 중국 대형 반도체 제조기업 A사의 생산공장(팹)에 적용되는 노광장비의 현지 설치 및 시운전을 본격화했다고 29일 밝혔다.

앤에스알시는 중국 대형 반도체 제조사 A사의 생산공장(팹)에 투입되는 ArF 노광장비의 현지 설치와 시운전을 진행 중이다.

앤에스알시는 지난 6월 중국 내 최상위권 반도체 리퍼비시(재정비) 장비 전문 에이전트를 통해 A사로부터 해당 장비의 설치와 운영을 위한 기술용역을 수주한 바 있다.

노광장비(리소그래피)는 웨이퍼 표면에 빛을 쬐어 미세 회로 패턴을 새기는 반도체 8대 핵심 전공정 장비다…