티로보틱스, 반도체 유리기판 이송로봇 미국 특허 등록

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휴머노이드 및 산업용 로봇 전문기업 티로보틱스가 반도체 유리기판 이송로봇 관련 미국 특허 등록을 완료했다고 21일 밝혔다. 티로보틱스는 앞서 국내와 일본에서 관련 기술의 특허 등록을 완료한 데 이어 이번 미국 특허까지 확보했다. 이를 통해 주요 반도체 시장에서 핵심 기술에 대한 권리 보호 기반을 마련하고 차세대 반도체 공정용 로봇의 글로벌 사업 경쟁력을 높였다. 이번 특허는 진공 챔버 내부에서 기판을 정밀하게 이송하는 장치에 관한 기술이다. 티로보틱스는 디스플레이용 진공로봇 개발 및 공급을 통해 축적한 기술력을 바탕으로 반도체 유리기판 이송 분야까지 기술 적용 범위를 넓히고 있다....